截止2023年9月28日，個股表現(xiàn)方面，半導體設備概念上市公司當日領漲股為聯(lián)得裝備(300545)，該股當日報收29.38，上漲20.02%，成交量20.51萬。盛美上海(688082)以上漲15.24%緊隨其后，該股當日成交量3.52萬。此外，羅博特科(300757)、XR拓荊科(688072)、精智達(688627)均進入當日半導體設備概念上市公司牛股之列。

　　市值來看，截止2023年9月28日，半導體設備概念上市公司中羅博特科、精智達、聯(lián)得裝備等3家市值位于不足100億之列；XR拓荊科和精測電子市值位于100億到500億之列；盛美上海市值位于500億到1000億之列。

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